ターボ分子真空ポンプ iXL

乾式一段プラズマ

シリーズは、ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。 チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体（酸化物）エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、高い排気速度と低エネルギー消費を特徴としています iXL900Rは、現在FPDロードロックアプリケーション用のこのクラスで現在入手可能な最速ロードロックポンプです。この新しいポンプは、プラズマ蒸着（PVD）アプリケーションに使用される最大のロードロックチャンバーに特に適しており、お客様は、運転コストと設置時間を大幅に削減できます。さらに、ロードロックチャンバーごとに必要なポンプ数が少なくなるため、設置時間、システム化コスト、メンテナンス、およびユーティリティ消費量が削減できます。 グリーンモードを使用すると、アイドリング期間のユーティリティ使用量を低減し、コストを削減しながら環境パフォーマンスを向上できます。