ルーツ真空ポンプ nXQ55i

乾式多段ヘリウム

概要
nXQ55i は、ガスの損失を最小限に抑え、センシティブなプロセスで再現性ある動作を確保するために設計されたドライ（無油）で無塵の多段ルーツポンプです。密閉性の高い構造によりガスの純度とシステムの整合性を維持し、ヘリウム‑3・ヘリウム‑4 等の軽質・希少ガスで安定した性能を発揮します。代表的な用途はヘリウムクライオスタット、希釈冷凍システム、リーク検査、ガスの回収/循環等の重要な封止が求められる場面です。

特徴と利点

• リーク対策設計
  5×10⁻⁸ mbar·l/s 以下のリークレートを満たす設計。各ユニットは総合リーク試験を受け、試験合格を証明する証明書が付属します。

• 軽質ガスでの優れた性能
  希少で軽いガス向けに最適化されており、ヘリウムの到達流量は最大52 m³/h。要求の厳しい環境や連続運転でも安定した回収・循環を支援します。

• ドライ構造
  コンパクトで無油・無塵の設計によりクリーンなプロセスを実現し、メンテナンスを低減、オイル交換や廃油処理を不要にします。低騒音・低消費電力により総所有コストの低減と長いメンテナンス間隔を可能にします。

主な仕様

• 型式：nXQ55i
• リークレート：5×10⁻⁸ mbar·l/s 以下（総合リーク試験証明書付）
• ヘリウム到達流量：最大52 m³/h（ヘリウム）
• 対応ガス：ヘリウム‑3、ヘリウム‑4、その他の軽質/希少ガス
• 構造：ドライ、多段ルーツポンプ（無塵）
• メンテナンス間隔：推奨条件下で最大5年の低メンテナンス
• 用途：ヘリウムクライオスタット、希釈冷凍システム、リーク検査、希少ガスの回収/循環などのセンシティブな封止用途
• 利点：低騒音、低消費電力、オイル交換・廃油処理不要