回転翼真空ポンプ XDS series

スクロール乾式一段

スクロールポンプは、オイルフリー排気が望ましいロータリベーンポンプの優れた代替製品です。 XDSドライスクロールポンプ 特許取得済みのダブルスタートスクロールフォームテクノロジーとバイパスバルブの組み合わせにより、Edwardsは、当社のオリジナル製品を補完するXDS35i Enhancedシリーズのポンプを提供することができるようになりました。 XDS35iには、ポンプを管理し、世界規模の性能を提供するスマートドライブ技術が組み込まれています。 粗加工圧力でのピーク電力要件が低減され、粗加工速度が連続的に向上します。これらのポンプにより、ユーザーは性能エンベロープに対処し、粗加工性能または大容量チャンバの真空引き能力が重要な特殊用途にも対応できます。 強化されたバージョンでは、初回ポンプダウン時のピーク電力要件が最大20%低減されます。つまり、大容量チャンバをポンプダウンしても性能が低下することはありません。 これらの粗加工圧力では最大25%のポンプ速度が向上し、より高い周波数サイクル用途にも役立ちます。