XYZ軸ポジショニングステージ MDE625

圧電手動式3軸

3チャンネルコントローラE1100と、ピエゾアクチュエータを搭載したMDE125エリオットゴールド™シリーズXYZフレキシャーステージからなるシステムで、各3軸で50nmの分解能で100μmのピエゾ移動量を実現しています。 - 100μmピエゾ調整移動量 - 50nmの分解能 - 直交するアライメントグルーブ E1100 ピエゾコントローラー： - USBインターフェース - チャンネルは独立3チャンネル - 出力電圧：0～150V - 出力電流：50 mA/チャンネル - 出力ノイズ< 50 µVRMS - 各チャンネルにデジタル表示 - 内部/外部電圧制御 - 外部入力電圧制御 0～10V - 出力安定性<16時間で0.01%以下 - 電源の必要性 100-230VAC、50/60Hz