光起電性貯蔵マシン HD800

製品概要
HD800はHuashengの次世代ハイブリッドPVDコーティング装置で、安定した被膜品質、大容量バッチ処理、柔軟なプロセス開発を必要とする切削工具メーカーや産業ユーザー向けに設計されています。Huashengの複合コーティング技術プラットフォームを基盤に、HD800はアークイオンプレーティング、直流マグネトロンスパッタ、HiPIMSを一体化し、ステンレス鋼、チタン合金、焼入れ鋼、高合金鋼などの難削材向けに密で付着性の高い低飛散の被膜を生成します。

主な利点

• 高い被膜付着性：アークイオンプレーティングに加え、横置きイオン源およびホットフィラメントエッチングにより、工具や摩耗部品の膜基材結合を改善します。
• 滑らかな被膜表面：HiPIMSおよびマグネトロンスパッタにより飛散粒子を低減し、よりクリーンで滑らかな仕上がりを実現します。
• 高い被膜密度：ハイブリッド堆積プロセスにより密な微細構造と耐摩耗性の向上を実現します。
• 柔軟なプロセス開発：アーク、DCマグネトロン（MS）、HiPIMS MS、複合堆積および混合コーティング手法を1台でサポートし、生産とR&Dに対応します。

適用分野

• 切削工具、CNCインサート、ドリル、エンドミル、タップ、金型部品、耐摩耗部品などの量産およびR&D向けコーティング。

HD800の特長

• チャンバー容量：1 m³
• 搭載量：10ツリーのバッチ生産
• 有効コーティング面積：Φ650 × 400 mm
• Arc + HiPIMS ハイブリッドコーティング対応
• 横置きイオン源およびホットフィラメントエッチング
• 生産およびプロセスR&D向けの安定した産業運用を実現

仕様 / 技術データ

• 型番：HD800
• コーティング技術：ハイブリッド複合プラットフォーム（アークイオンプレーティング、DCマグネトロンスパッタ、HiPIMS）
• エッチング：横置きイオン源 / ホットフィラメント
• マルチアーク源：6
• マグネトロンカソード：1
• 装置寸法：L3750 × W2400 × H2500 mm
• 最大使用温度：600°C
• 搭載容量：バッチあたり10ツリー
• インサート搭載数：約12,000 pcs（例：APMT1135）
• ドリル搭載数：約3,600 pcs（例：D4 × 50L）
• 最大搭載重量：300 kg
• シャフト径：Φ130
• 有効コーティング面積：Φ650 × 400 mm
• プロセスタイム（例）：AlTiN：6–8 h