走査型透過電子顕微鏡 SU9000 II

分析用研究用BF-STEM

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 0.4 nm（加速電圧 30 kV）を達成しました。低加速電圧領域では0.7 nm（照射電圧：1.0 kV/オプション）を保証しています。 SU9000IIはハイエンドTEMと同様のサイドエントリーステージを採用しています。さらには高剛性フレームと耐騒音カバーによってさまざまな設置環境においても高いパフォーマンスを実現します。 加えて、SU9000IIの試料室は、従来と比べて一桁高い真空を保持できるのでコンタミネーションの影響を最小限に抑えることができます。 それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、SU9000Ⅱでは光学系の調整自動化機能を搭載し、連続データ取得をはじめとした、データ取得の自動化を支援するオプションソフト「EM Flow Creator」が搭載可能です。 SU9000IIのインレンズ型対物レンズは短焦点距離化による収差低減に有効な構造を有しています。 収差低減によって分解能が向上したことで、数nm以下の微細構造もより安定して観察が可能になりました。