欠陥検査機 CT1000

X線DR-SEM3D

欠陥及びパターン形状の3D観察で G&Cデバイス*1の開発TAT短縮と品質向上に貢献 Φ200 mm以下のウェーハを自動搬送した後、クリティカルなパターン位置や欠陥検査装置で検出された欠陥位置へ正確に移動し、試料ステージ傾斜機能を活用して三次元的なSEM観察を行うことができます。 さらに、観察対象に対して元素分析機能（EDS：Energy Dispersive-X-ray Spectrometer）*2による構成元素の推定を可能にしました。 *1） G&Cデバイス:グリーン＆コミュニケーションデバイスの略語。具体的には、Φ100/125/150/200 mmのウェーハで生産される電子デバイス及び電子部品。（例：SAW/BAW、MEMS及びセンサー、パワー及びアナログデバイス等） *2） オプション * シグナルタワーはオプションです 取扱会社：株式会社 日立ハイテク • 5軸試料ステージ採用により欠陥及びパターン形状の傾斜観察が可能 • 元素分析機能(EDS)*を搭載する事で異物や欠陥の構成元素の推定が可能 • Φ100 mm, Φ150 mm, Φ200 mmウェーハサンプルに対応