ビーム検査装置 DI4600

ウェハー用インライン

半導体メーカーは、歩留まり低下要因となる異常を迅速に検知するために生産ラインの状態管理を行います。 このニーズに対応すべく、DI4600では、シートビームによるウェーハ全面の高速検査技術、空間フィルタによるパターン及び欠陥からの散乱光を高精度に分離する技術に加え、独自光学系技術により高速かつ高い欠陥検出性能を実現しています。 DI4600は欠陥検出力の向上と更なる高スループット化を両立したことで、最先端メモリー半導体並びにロジック半導体製造におけるインライン欠陥管理ツールとして採用されています。 量産運用に適した高いスループットと検出感度の両立 • 暗視野式検査装置の特徴を活かした半導体製造ラインの状態管理が可能 高い装置間マッチング性能 • 複数台の運用に適した独自技術の光学系を採用 簡便な操作性 • シンプルなパラメータ設定によるレシピ作成