ウェハー用検査機器

... 高生産性パターン付きウェハ広領域検査システム 8シリーズ パターン付きウェハ欠陥検査装置は、生産プロセスの問題を迅速に特定し、解決するために、非常に高いスループットで様々な種類の欠陥を検出します。8シリーズは、150mm、200mm、300mmのシリコン、SiC、GaN、ガラス、その他の基板を使用したチップ製造において、初期製品開発から量産まで、コスト効率の高い欠陥モニタリングを実現します。最新世代の8935検査装置は、新しい光学技術、DesignWise®およびFlexPoint™精密エリア検査技術を採用し、チップ不良の原因となる重要な欠陥を捕捉します。DefectWise® ...

... 独自の光学設計技術により、Imperiaは歩留まりに悪影響を及ぼす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネッセンス（PL）生産監視を行うことができます。 製品概要 Imperiaは、独自の光学設計技術により、歩留まりを脅かす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネセンス（PL）生産監視を行うシステムです。これら2つのエピタキシャル後の計測スクリーニング機能を1つの高スループットシステムに統合することで、貴重な工場スペースとカセット処理時間を最小化することができます。この製品は、ユーザーに大きな経済的節約をもたらします（例：MOCVDリアクターの収量とPMスケジュールを正確に予測する）。 - ...

... GWIシステムは、生産サイクルの早い段階でガラスウェーハの欠陥を検出するために構築されました。 このシステムは、欠陥の検出に必要な精度を満たすために、高解像度のスマートカメラに基づいています。 ウエハの完全な評価はスマートカメラで行われます。 ガラスウェーハの画像が撮影され、カメラですぐに処理されます。 結果のデータと画像が PLC に転送されます。 ディスプレイをカメラに接続して、結果を画面に表示するオプションもあります。 評価プロセスを実行するには、イーサネット、RS232、電源I/O接続が使用できます。 ...

... AM018Tウェーハ検査システムは、高速かつ高精度で包括的なソリューションであり、サイズ、厚さ、汚れ、欠け、抵抗率、微細亀裂、P/N型、穴などに基づいてウェーハを検出・選別することができます。 国内市場におけるウェーハ選別システムのパイオニア 優れた検査性能と信頼性の高い自動化を活かし、本検査システムは高い評価を得て、世界中の顧客から第一の選択肢となっています。 この高速ウェーハ検査システムは、ウェーハ製造におけるスライシングおよび洗浄工程後の最終工程（エンド・オブ・ライン）品質検査用に特別に設計されており、ウェーハ出荷前の最終的な品質チェックとして機能します。 主な機能：ウェハーの包括的な検査と格付けを行い、合格品のみがセル製造工程に送られることを保証することで、より競争力のある価格でより高い品質を実現します。 また、ウェハー検査システムで生成されたデータは、前工程のスライシング工程に送信され、プロセスの最適化や歩留まりの向上に活用することも可能です。 技術的優位性： a) ...

... FRTの光学式検査装置MicroProf DIは、構造化されたウェーハと非構造化ウェーハを製造工程全体で検査することが可能です。2次元検査と計測を組み合わせることで、マイクロバンプ、RDL、オーバーレイ、スルーシリコンビア（TSV）などの欠陥検査やウェーハレベル計測など、さまざまなアプリケーションに1台の計測装置で対応することが可能です。 MicroProf DIには複数のモジュールが含まれており、同じツールプラットフォーム上で柔軟に組み合わせることで、すべてのウェーハ表面を高いスループットでカバーし、効率的なプロセス制御を実現します。モジュールには、シングルショットおよびステップカメラモジュールによる光学検査と欠陥の分類、高精度マイクロスコープによる欠陥のレビュー、さまざまなトポグラフィーおよび層厚センサーによる総合マルチセンサー計測が含まれます。また、ウェハー上の隠れた構造や介在物を光学的、非接触、非破壊で解析するために、赤外線光源と赤外線顕微鏡を備えた干渉型層厚センサーも用意されています。 ...