ウェハー用検査装置

... 超解像広帯域プラズマパターンウエハー欠陥検査装置 392xシリーズ広帯域プラズマ欠陥検査装置は、7nm以下のロジックおよび最先端メモリ設計ノードにおけるウェーハレベルの欠陥発見、歩留まり学習、インラインモニタリングをサポートします。超解像度深紫外（SR-DUV）波長帯を生成する光源技術と革新的なセンサーにより、3920と3925はユニークな欠陥タイプを高感度で捕捉します。また、392xシリーズは、先進のデザイン認識アルゴリズムであるpixel-point™とnano-cell™を活用し、歩留まりが重要なパターン位置の欠陥を捕捉してビニングします。インライン・モニタリングの要件を満たすスループットにより、392xシリーズは感度とスピードを両立し、Discovery ...

... 本システムは、生産に使用するウェハーを自動的に検査・選別することができます。深層学習、マシンビジョン、障害警告、工場MESインターフェースなど、いくつかのインテリジェントな機能を備えています。 生産能力 実際の量産で実証された最大8500枚/時の平均能力 拡張性 25～150枚のキャリアに対応し、ウェーハ洗浄機との統合も可能 効率性 ダブルデッキトレイの採用により、作業者の作業時間を短縮 ベネフィット 迅速なアフターサービスと低いメンテナンスコスト 精度 厚み測定モジュールには高速プロファイルセンサーを、サイズと汚れの検査モジュールには高解像度カメラを採用し、検査精度を向上させています。 精度 X方向とY方向の側面を検査することで、欠陥の検出漏れを最小限に抑えています。X方向のマイクロクラックモジュールの正確な検査により、マイクロクラックの検出を逃すことはありません。 ...

... 独自の光学設計技術により、Imperiaは歩留まりに悪影響を及ぼす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネッセンス（PL）生産監視を行うことができます。 製品概要 Imperiaは、独自の光学設計技術により、歩留まりを脅かす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネセンス（PL）生産監視を行うシステムです。これら2つのエピタキシャル後の計測スクリーニング機能を1つの高スループットシステムに統合することで、貴重な工場スペースとカセット処理時間を最小化することができます。この製品は、ユーザーに大きな経済的節約をもたらします（例：MOCVDリアクターの収量とPMスケジュールを正確に予測する）。 - ...

... GWIシステムは、生産サイクルの早い段階でガラスウェーハの欠陥を検出するために構築されました。 このシステムは、欠陥の検出に必要な精度を満たすために、高解像度のスマートカメラに基づいています。 ウエハの完全な評価はスマートカメラで行われます。 ガラスウェーハの画像が撮影され、カメラですぐに処理されます。 結果のデータと画像が PLC に転送されます。 ディスプレイをカメラに接続して、結果を画面に表示するオプションもあります。 評価プロセスを実行するには、イーサネット、RS232、電源I/O接続が使用できます。 ...

... FRTの光学式検査装置MicroProf DIは、構造化されたウェーハと非構造化ウェーハを製造工程全体で検査することが可能です。2次元検査と計測を組み合わせることで、マイクロバンプ、RDL、オーバーレイ、スルーシリコンビア（TSV）などの欠陥検査やウェーハレベル計測など、さまざまなアプリケーションに1台の計測装置で対応することが可能です。 MicroProf DIには複数のモジュールが含まれており、同じツールプラットフォーム上で柔軟に組み合わせることで、すべてのウェーハ表面を高いスループットでカバーし、効率的なプロセス制御を実現します。モジュールには、シングルショットおよびステップカメラモジュールによる光学検査と欠陥の分類、高精度マイクロスコープによる欠陥のレビュー、さまざまなトポグラフィーおよび層厚センサーによる総合マルチセンサー計測が含まれます。また、ウェハー上の隠れた構造や介在物を光学的、非接触、非破壊で解析するために、赤外線光源と赤外線顕微鏡を備えた干渉型層厚センサーも用意されています。 ...