光学式検査機器 8 series

走査自動車産業用電気産業用

高生産性パターン付きウェハ広領域検査システム 8シリーズ パターン付きウェハ欠陥検査装置は、生産プロセスの問題を迅速に特定し、解決するために、非常に高いスループットで様々な種類の欠陥を検出します。8シリーズは、150mm、200mm、300mmのシリコン、SiC、GaN、ガラス、その他の基板を使用したチップ製造において、初期製品開発から量産まで、コスト効率の高い欠陥モニタリングを実現します。最新世代の8935検査装置は、新しい光学技術、DesignWise®およびFlexPoint™精密エリア検査技術を採用し、チップ不良の原因となる重要な欠陥を捕捉します。DefectWise® AIテクノロジにより、欠陥の種類をインラインで高速に分離し、欠陥の検出とビニングを改善することができます。これらの技術革新により、8935は歩留まりと信頼性に関連する欠陥を低い不良率で高い生産性で捕捉し、チップ・メーカが信頼性の高い製品を低コストで迅速に出荷できるよう支援します。8シリーズ・インスペクタは、ロジック、メモリ、パワー・デバイス、LED、フォトニクス、RFデバイス、MEMSなど、最先端およびレガシー・ノード・デバイスの幅広い製造工程における欠陥モニタをサポートします。また、AR/VRレンズやハードディスクドライブ（HDD）製造時の品質管理もサポートします。 アプリケーション プロセスモニター、ツールモニター、出荷品質管理（OQC） 8シリーズの検査技術は、CIRCL欠陥検査、計測、レビュークラスターツールのモジュールとしても利用可能です。