測定用検査機
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... Archer™ 800オーバーレイ計測システムは、最先端のメモリおよびロジック・デバイスの迅速な技術立ち上げと安定生産を実現するために、製品上のオーバーレイ・エラーを正確にフィードバックします。波長可変性とナノメートルレベルの分解能による層ごとの最適化により、EUVリソグラフィを含む革新的なパターニング技術に関連するオーバーレイの問題を正確かつ堅牢に特性評価できます。Archer 800イメージング・ベースのオーバーレイ・システムは、進化する市場ニーズに対応する生産性レベルを備え、高次スキャナ補正のためのサンプリング増加やインライン・モニタリングのための高スループットをサポートします。高度なアルゴリズムと斬新なrAIM®オーバーレイ・ターゲット設計により、ターゲットとデバイスのオーバーレイ・エラーの相関性が向上し、リソグラファがデバイスのオーバーレイ性能を正確に追跡できるようになります。 アプリケーション 製品上オーバーレイコントロール、インラインモニタリング、スキャナクオリフィケーション、パターニングコントロール、明視野クリティカルディメンション(CD) 調整可能な光源を備えたイメージングベースのオーバーレイ計測システムにより、≤7nmロジックおよび先端メモリ設計ノードの高精度、高プロセスロバスト、高生産性オーバーレイエラー計測が可能。 先端メモリおよび≤10nmロジック・デバイス用のイメージング・ベース・オーバーレイ・メトロロジー・システム。 2Xnm/1Xnmデザイン・ノードのさまざまなプロセス層に対応する、デュアル・イメージングおよびスキャッタロメトリーベースのオーバーレイ測定モジュール。 ...
... 製品概要
XT Hシリーズは、マイクロフォーカスのヘリカルX線CTスキャナであり、小型のプラスチックコネクタからアルミ鋳物まで幅広い部品の高解像度検査に対応します。R&D、故障解析、量産品質管理向けに、検査および計測用途の構成が可能です。
主な特長
これらのシステムは、ラボでの柔軟性と生産現場向けの機能を組み合わせ、サイクルタイム短縮や稼働率向上を実現します。構成可能なソース/ターゲット、X.Tend Helical CT取得、FDD(源‑検出器距離)のモーター制御などを提供します。
製品のハイライト
- 必要なときの柔軟性:X線源・ターゲット・CTスキャン戦略の選択や、モーター式FDD調整などのオプションで多様な検査課題に対応。
- X.Tend
Nikon Metrology
... アプリケーション 非パターンウェーハの厚み・反り測定 非接触測定により、ウェーハの上下面を基準とした3次元形状を再構築します。強力な測定・解析ソフトウェアにより、ウェーハの厚み、粗さ、総厚み変動(TTV)を安定的に算出します。 非パターンウェーハの粗さ測定 ウェーハ薄片化のための粗研削、精研削工程では、表面粗さSa値とその安定性が加工品質の評価に用いられます。製造現場の強いノイズ環境下で薄化シリコンウェーハを測定した場合、微研削シリコンウェーハの粗さSa値は5nm前後で、25回の測定データによる再現性は0.046987nmであり、測定の安定性が良好であることを証明しています。 ...
... 3D SPI レーザーラインビーム スキャン方式 業界最速の検査速度 Real 3D映像 対象物の色、表面、材質に 影響なく検査 PCB反り自動測定 PCB収縮、膨張を自動補正 Feedback & Feedforward 連携サポート機能で工程最適化 検査項目 高さ、面積、体積、オフセット、ブリッジ、形状異常、PCB反り、PCB収縮など ...
PARMI Europe GmbH
... 製品概要
主な機能
PARMI Europe GmbH
... 概要
PCI 100 は PARMI の Xceed BSI シリーズの製品で、コンフォーマルコーティング(保護膜)検査向けに設計されています。コーティング関連の欠陥検出と測定に特化した高速2D自動光学検査(AOI)を提供します。主にTHT実装の検査用途に適しています。
主な特長
- コンフォーマルコーティング検査に最適化された2D AOI
- 高スループットの検査能力
- 高さ測定センサによるコーティング厚さ検査
- UVおよび白色LEDによる同時画像取得
検査項目
- 被覆評価(塗布領域/非塗布領域)
- コーティング内の気泡検出
- コーティング厚さ測定
- その他コーティング関連の欠陥(剥離、空洞など)
製品ファミリー
Xceed ...
PARMI Europe GmbH
出力電力: 60 W - 150 W
検査領域の幅: 0 mm - 240 mm
検査領域の高さ: 0 mm - 120 mm
... SX2054W / SX2554W 完全密閉型でクーラーレス防水・防じん IP66(コンベア内部IP69K準拠)今までにない、革新的耐環境性能 完全防水 X線検査機 完全密閉でクーラーレス。全身IP66 / コンベア内部IP69K準拠。 ...
SYSTEM SQUARE Inc.
出力電力: 60 kW - 150 kW
検査領域の幅: 220 mm
検査領域の高さ: 120 mm
... SX2353HW / SX3873HW 新X線センサーで高感度と高安定性を両立。 新X線センサー3Hで高感度を実現 新X線センサー搭載機(SX2353HW)では当社標準機(SX2554W)と比較してさらなる高感度検査を実現しました。検査画像の比較ではより鮮明になっていることが確認できます。 より安定した高感度を実現 新X線センサー搭載機(SX2353HW)では異物をより強く検出しており、これによって高感度検査を安定的に行うことが可能です。社内テストでは従来機(SX2554W)と比較してワンサイズ小さなテストピースを検出しています。 ...
SYSTEM SQUARE Inc.
出力電力: 60 kW - 150 kW
検査領域の幅: 0 mm - 240 mm
検査領域の高さ: 0 mm - 120 mm
... SX2554HW / SX4074HW 新X線センサーで高安定相対質量検査を実現。 新X線センサーで安定した質量検査を実現 個包装品など軽量で処理数の多い商品や、オートチェッカーでは対応できない高速搬送でも、相対質量検査を安定的に行うことが可能です。小袋ドレッシングの例では従来機で見られるばらつきが、大きく抑えられています。 複数項目の同時検査が可能 商品に含まれる「異物」、包装を含まない「相対質量」「形状」の同時検査が可能です。形状検査では割れ・欠け、長さ・幅、面積等を検査することで品質の向上に寄与致します。 ...
SYSTEM SQUARE Inc.
... ニアライン、インラインで100%歯車検査が可能な高速精密検査機です。 非接触3次元歯車検査装置 ZeroTouch® ZTGは、3D点群データを生成し、リアルタイムに計測・検査データを提供し、生産工程の最適化とROIの向上を実現する非接触歯車検査システムです。 歯車検査の新しいカタチ ZeroTouch® ZTGギア検査システムは、センサーごとに数百万点のデータを取得する複数のレーザー三角測量センサーを使用して、複雑なギア形状や表面欠陥の3D検査を迅速、正確、柔軟に実行します。 精度と再現性 ZTGは、完全な基準面上の3Dレファレンシングにより、信頼性と再現性のある測定を実現します。数百万点のデータを収集することで、表面の局所的な欠陥や粗さを最小限に抑え、フライス加工や切断されたばかりの歯車を測定する場合でも、非常に高い再現性を実現します。 自動ワークロード/アンロード ZTGギア検査システムに組み込まれたローディング/アンローディングロボットにより、製造工程と簡単に連動させることができます。 特長と利点 - ...
検査領域の幅: 50 mm - 300 mm
検査領域の高さ: 30 mm - 120 mm
... TZTEK VAVI-lC-A025C高精度自動外観検査装置は、サブミクロン精度の駆動制御プラットフォームを採用し、キャリブレーション、補正アルゴリズムなどの技術を統合して、より高い画像品質とアライメント精度を保証します。検出と測定を統合し、従来のアルゴリズムとA1アルゴリズムを組み合わせて、効果的に偽ポイントをフィルタリングします。分析精度は2.5μmに達することができます。 ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... TapTone Fill_irセンサーは、プラスチックおよびガラス容器の適切な充填レベルを検査するように設計されています。このシステムは、充填不足の容器、充填過多の容器、またはその両方を検出するように設定できます。システムは光学技術を使用して赤外線ビームを検出し、水性液体製品の充填レベルを測定します。センサーは遠隔の可変高さスタンドに取り付けられ、既存の生産コンベヤーに変更を加える必要はありません。Fill_irは、どのTapToneユーザーインターフェースとも互換性があり、オプション検査として既存のTapToneシステムに追加することができます。 Fill_irの操作にはユーザーインターフェースが必要で、T550およびPROシリーズユーザーインターフェースと互換性があります。 Fill_ir ...
... 新世代のシングルテーブル自動検査機。 ドス・ビジュアル・ソリューションの新しいビジュアル検査システムの第一号機、シングルテーブルの革新的な自動検査機です。特別な反射防止テクニカルガラステーブルのおかげで、テーブルの上下にあるカメラによって取得される画像の品質は同じ基準です。 全自動カメラレンズ交換システムにより、固定フレームフィールドの利点と複数フレームフィールドの柔軟性が得られます。自動ビジョンユニット昇降システムにより、迅速なクリーニングとテーブル交換が可能です。また、ウェブカメラによる遠隔操作も可能です。 ...
Doss Visual Solution
... 2Dと3Dの技術を組み合わせ、歩留まりを損なう欠陥を検出し、今日の前工程とパッケージング技術に不可欠な特徴を測定するDragonfly G3システムは、スループット、精度、信頼性に対する業界の期待を一新するものです。 製品概要 独自の2Dイメージング技術により、サブミクロンの欠陥を高速かつ確実に検査し、今日の研究開発ニーズと明日の生産要求を満たします。Onto Innovationの特許取得済みTruebump®テクノロジーは、複数の3D測定技術を組み合わせて、正確な100%バンプ高さ測定とコプラナリティを実現します。この新技術は、高速スループット、明視野および暗視野感度の向上、大型パッケージ検査に関連する現場の課題の解決を目的として設計されたOnto ...
... 完全自動化 表面品質管理 スクラップ、リコール、再加工、生産遅れの原因となる長年の接着問題を解決する非接触表面品質検査ソリューション、Automated Surface Analystを初めてご利用になれます。 Automated Surface Analystは、接着プロセスが仕様から外れないように、表面の重要な作業を継続的に監視し、検証するためのリアルタイム・フィードバックを提供します。これにより、接着剤製造プロセス全体を通して、完全に統合された総合的な表面品質管理が可能になります。 様々な生産工程に表面品質管理を導入することができます。 Automated ...
... PMDモジュロシュネイダーによる情報は、完全自動化された生産環境に品質検査を導入します。 初めてブロックされたレンズは、生産を中断することなく、インラインで自動的に測定できます。 偏向測定にUV光を利用するPMDモジュロは、透過測定に関する一般的な問題の影響を受けません。 ディオプターや化粧品を1つの唯一の反射に基づいて直接非破壊的に測定します。 レンズをデブロックする必要はありません。 PMD Modulo は、レンズに触れることなく、高解像度でオンザフライでレンズを評価します。 初めてオンザブロックレンズ測定は、レンズの表面化直後に行われ、製造と現在の生産の品質検査の間の大幅な時間差を回避します。 ...
... - 部品を迅速かつ自動的に検査 - 超高速リバースエンジニアリング - SPC統合 - 最大のモデルレンジ - 3Dスキャンアドオン 製品仕様 精度 - 形状:12/25μm - サーフスキャン:0.1mm 部品サイズ(長さ×奥行き×高さ): 500mm x 333mm x 120mm 仕様 - 最大部品長:500mm - 最大部品幅:333mm - 最大部品厚み:120mm - 最大部品重量:100kg - UDL (均一分散荷重) - 測定精度、長さおよび幅** :+/- 測定精度:±12/25μm - ...
InspecVision Ltd
出力電力: 500 W - 1,600 W
検査領域の幅: 480 mm
検査領域の高さ: 313 mm - 627 mm
... DXC 3000は、さまざまな対象物のデジタルX線検査に対応した、すぐに使用できる完全なキャビネットです。堅牢な機構とモダンなデザインの組み合わせにより、実験室での使用だけでなく、工業用X線アプリケーションにも適しています。 DXC 3000は、優れたデジタルX線画像を提供し、露光後すぐに接続したPCで処理できます。フィルム代、薬品代、廃棄物処理代などの追加費用は不要です。また、フィルムプロセッサやライトボックスのような追加装置も必要ありません。 利点 低運用コスト フィルム、薬品が不要 ...
... 不均一な測定精度: - 0.1 μmの精度 - 繰り返し精度 < 0.05 μm - 保護層流 - 熱センサー 高い汎用性 - ゲージングおよび表面検査 - 全自動モードまたはシングル測定ステーションとして動作 - 多様な部品形状 ...
検査領域の幅: 50 mm - 120 mm
検査領域の高さ: 50 mm - 140 mm
搬送能力: 10 kg
... Atonは、人工知能に基づいた革新的なフル3D検査ソリューションであり、自動光学検査システムの概念と標準に革命をもたらし、SPIとリフロー後の生産段階をカバーします。 Atonは、最も複雑で、重く、大きく、高さのある部品であっても、様々なサイズの基板に対応することができ、あらゆる産業にとって完璧なソリューションです。 - 特許取得の真の3D測定光学技術 - X軸とY軸のリニアモーターによる移動搬送システム。 - ステージ上での搬送 - Z軸移動 - トップクリアランス最大120 mm - ボトムクリアランス最大140 ...
... 信頼できるパートナーと一緒に購入してください! I.C.Tは、SMT業界で26年の経験をもたらします。 ハイライト:オンサイトのインストールとトレーニングが利用可能、24時間年中無休のカスタマーサービス。高度に訓練された専門家。ビジョンガイド付きDIYキット。組み立てが簡単です。オープンソースソフトウェア。 序章: 業界をリードする自動ステンシル検査機I.C.T-S780は、ステンシルの作成とクリーニングの問題を迅速に解決できます。 クリーニングプロセスを改善します。ステンシル管理基準を確立し、生産管理システムを改善します。マニュアルを交換します ...
Dongguan ICT Technology Co.,Ltd
... ウェーハ全面の厚み、厚みばらつき、反り、ソリ、サイト、グローバルフラットネスをスキャン。 厚み、TTV、Bow、Warp、Site、Global Flatnessを測定します。 特徴 独自のMTIキャパシタンスセンサーによる優れた精度と再現性 再校正なしで1000 µmの厚みをフルレンジで測定 厚み、TTV、弓、反り、サイトおよびグローバルフラットネスを測定 Windows®ユーザーインターフェース ASTM規格に準拠した測定 SEMI S2-0200健康および安全規格に準拠した設計 ...
... スマート製造の世界への最初のステップは、製造現場での高速、高精度測定をこれまで以上に簡単にするように設計された、モジュール式のロボット検査セルコンセプトの PartInspect L により、かつてないほど簡単になりました。 StereoScan neo または PrimeScan のスキャン技術をベースとする PartInspect L は、優れた構造化光スキャン技術と強力なロボットアームを融合させ、オペレータトレーニングの必要性を最低限に抑えながら、現場で比類のないレベルの品質管理レポートを直接提供できます ...
... thicknessCONTROL TCP 8301.Iシリーズのノントラバース・プロフィロメーターは、1回の測定で完全なプロファイルを得ることができ、大変喜ばれています。可動部がほとんどないため、メンテナンスの手間を省くことができます。 光学的三角測量の原理に基づき、レーザー光源から素材の上側と下側に2本の平行線を投影します。レーザー光の反射はカメラで検出されます。この測定システムには、完全に自動化された統合キャリブレーションが含まれています。特許取得済みの校正プロセスには約5分かかります。プロフィロメーターのビジュアライゼーション・ソフトウェアには、統計処理ツールや測定結果をさまざまなフォーマットでエクスポートするツールが含まれています。測定システムは完全に覆われているため、測定プロセスへの外光の影響や寄生反射の発生を最小限に抑えることができます。長さ検査装置CONTROL ...
... グリーソン製または他社製ブレードの測定検査を行います。 自動化オプションにて多品種のブレードセットも自動測定が可能となります。 高汎用性 BIMはグリーソンの#562ポイントに準拠した、プレッシャアングル、クリアランスアングル、ブレードディスタンス等のばらつきを検査測定します。 カスタマイズされたユーザインターフェース 絶対値の測定結果レポート出力、ブレ―ド補正値、ブレードセット間のばらつき評価など多彩な機能を搭載しています。 測定時間1分 ブレード1本を1分以内で正確に自動測定します。 フルオートメーション ブレードストッカー付のコンパクトなユニットで洗練された自動化に対応しています。 ダイレクト補正 クローズドループ機能により、測定後の補正値をBPGに直接フィードバックします。 ...
Gleason
... DQCは折機の品質と生産の信頼性を監視する。折られた製品はカメラで三次元的に測定される。不良品は排出され、排出状況はデータベースに記録される。 DQCは、M1コントロールのタッチスクリーンで簡単に設定・監視できます。さらに、オペレーターはデフレクターを使用してサンプルを採取し、目視でチェックし、アーカイブすることができます。 DQCは可動式で、最後の生産モジュールの後ろでも使用でき、様々な納入品と組み合わせることができます。M1コントロールの直感的なHMIにより、DQCのセットアップは簡単です。カメラの設定プロセスは、タッチスクリーンで観察・監視できます。 30 ...