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Proforma 300SA

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半自動検査機 半自動検査機 - Proforma 300SA
  • 半自動検査機
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特徴

  • 技術:

    半自動

  • 部門:

    エレクトロニクス産業用

  • 応用:

    ウェハー用, 半導体用

詳細

Proforma 300iSAは、半導電材料および半絶縁材料用のベンチトップ/デスクトップ半自動ウェハ測定システムです。 Proforma 300iSAは、MTII独自のプッシュプル容量技術をベースに、厚さ、厚さの変化、弓、反り、ソリ、サイトおよびグローバル平坦性の全ウエハ表面スキャンを提供します。 ユーザー定義およびASTM/SEMI準拠のスキャンパターンを使用して、完全な3次元(3D)ウェハ画像を生成します。

カスタマイズされたデータレポートを使用して、測定した各ウェハの表形式のデータを表形式で表示し、スプレッドシートプログラムにすばやく簡単にエクスポートできます。

ウェハ仕様直径:150mm、200mm、300mm
素材:Si、GaAs、Ge、SiC、InPを含むすべての半導体および半絶縁ウェハ
表面面:アスカット、ラップ、エッチング、ポリッシュ、パターン
フラット/ノッチ:SEMI標準フラットまたはノッチ
導電率:PまたはNタイプ

フルウェハー厚さの表面スキャン, 厚さの変化, 弓, 反り, ソリ, サイトとグローバル平坦度

測定厚さ, TTV, 弓, 反り, サイトとグローバル平坦度.



卓越した精度と再現性を実現する独自のMTIキャパシタンスセンサを特長とし、
再較正なしで完全な1000 µmの厚さ測定範囲
厚さ、TTV、弓、反りおよびサイト、およびグローバル平坦性
Windows® ユーザーインターフェース
ASTM標準測定
SEMI S2-0200健康安全準拠設計
SEMI S8-0999人間工学に基づく設計は、
Si、GaAs、Ge、InP、SiCを含むすべての材料を測定します。
*** バルク抵抗率は20Kオーム/cm未満です。

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)