光学式検査機 Puma™

パターン付きウエハエレクトロニクス産業用欠陥

Puma™ 9980 レーザースキャニング検査システムは、1Xnmの先端ロジック、先端DRAM、3D NANDメモリデバイスの大量生産に必要なスループットで、重要な欠陥（DOI）の捕捉を可能にする複数の感度と速度の強化を組み込んでいます。Puma 9980は、先進的なウェハ欠陥検査・レビューツールのポートフォリオの一部であり、先進的なパターニング層上の欠陥タイプの捕捉を強化することにより、生産ランプモニタリングのための最高スループットのソリューションを提供します。Puma 9980はNanoPoint™のデザイン・アウェア機能を搭載しており、欠陥感度の向上、システマティック・ノイザス・ビニングの改善、欠陥座標精度の向上により、より実用的な検査結果を得ることができます。 ラインモニタ、ツールモニタ、ツール認定 2X/1Xnmメモリおよびロジック・デバイスの全ダイ領域で高感度のエクスカージョン監視を提供します。 28nm以上のメモリおよびロジック・デバイスの全ダイ領域で、高性能のエクスカージョン監視を提供します。 32nm以上のメモリおよびロジック・デバイスに高性能なエクスカーション・モニタリングを提供します。