蛍光発光検査装置 Imperia®

光学式3D自動

独自の光学設計技術により、Imperiaは歩留まりに悪影響を及ぼす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネッセンス（PL）生産監視を行うことができます。 製品概要 Imperiaは、独自の光学設計技術により、歩留まりを脅かす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネセンス（PL）生産監視を行うシステムです。これら2つのエピタキシャル後の計測スクリーニング機能を1つの高スループットシステムに統合することで、貴重な工場スペースとカセット処理時間を最小化することができます。この製品は、ユーザーに大きな経済的節約をもたらします（例：MOCVDリアクターの収量とPMスケジュールを正確に予測する）。 - 高密度スペクトルPLマッピング - 欠陥の解析と分類 - エピタキシャル層の厚みと正規化反射率の高解像度イメージング - ウェーハ形状プロファイリングと3D弓形再構成