質量流量調節器 GR-511F

ガス用

GR-511Fは、静電チャックシステムで固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御することができます。 GR-511Fの安定性と精度は、ウェーハ冷却システムにおけるヘリウムとアルゴンの流量制御に最適です。 特長 より安定した精度の圧力制御 マスフローセンサー（オプション） 各種フィッティングに対応 RoHS対応 使用例 GR-511Fは、静電チャック装置で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御しています。 バルブタイプ - C: ノーマルクローズ リークインテグリティ - ≤ 7 × 10-11 Pa-m3 /s (He) 最高使用圧力 - 300 kPa (A) 耐圧性 - 350 kPa (A) 使用温度 - 5～50 °C (精度保証温度 : 15～40 °C) 電源 - +15 VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA 消費電力 - 7.5 VA インターフェース - アナログ ガス *1 - He, Ar, N2 標準継手 - 1/4インチVCRまたは同等品 圧力フルスケール - 1.333 kPa (A) (10 Torr), 2.666 kPa (A) (20 Torr)、 6.666 kPa (A) (50 Torr) 圧力制御範囲 - 1-100 %F.S. 圧力精度 *2 - ±0.5 %R.S. ゼロ温度係数 - ±0.04 %F.S./°C スパン温度係数 - ±0.04 %R.S./°C 応答性 *3 - 1秒以下 圧力設定信号 - 0.1-10 VDC (1-100 %F.S.) 入力インピーダンス ≥ 1 MΩ オプション：0.05-5 VDC (1-100 %F.S.) 入力インピーダンス≥ 1 MΩ 圧力出力信号 - 0-10 VDC (0-100 %F.S.) 最小抵抗 2 kΩ オプション:0-5 VDC (0-100 %F.S.) 最小抵抗2 kΩ