XY軸ポジショニングステージ XY-OF-UL-200x200+ACR160UT
回転2軸オープンフレーム

XY軸ポジショニングステージ
XY軸ポジショニングステージ
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特徴

方向
XY軸, 回転
軸の数
2軸
その他の特徴
オープンフレーム, ウェハー運搬用
ストローク

200 mm
(7.874 in)

速度

400 mm/s, 800 mm/s

詳細

開けフレームのX-Y回転式段階は半導体の製造工業のウエファーの処理および他の多くの自動化された正確な位置の適用のための控えめのと設計した。 単位の側面にあるX-Yドライブメカニズムおよび回転式テーブル穴による大きい中心はウエファーへの明確なunobstrucedアクセスを提供する。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。