XY軸ポジショニングステージ XY-OF-UL-200x200+ACR160UT

回転2軸オープンフレーム

開けフレームのX-Y回転式段階は半導体の製造工業のウエファーの処理および他の多くの自動化された正確な位置の適用のための控えめのと設計した。 単位の側面にあるX-Yドライブメカニズムおよび回転式テーブル穴による大きい中心はウエファーへの明確なunobstrucedアクセスを提供する。