- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XY軸ポジショニングステージ
- IntelLiDrives, Inc.
回転ポジショニングステージ XY-OF-UL-350x350+ACR335UTXY軸2軸オープンフレーム
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特徴
- 方向
- XY軸, 回転
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- オープンフレーム, ウェハー運搬用
- ストローク
350 mm
(13.78 in)- 速度
400 mm/s, 800 mm/s
詳細
「 ウエファーの処理のために設計されているオープン フレームの控えめなX-Y回転式段階および半導体の製造工業の他の多くの自動化された正確な位置の適用。単位の側面および回転式テーブルの提供穴による大きい中心にあるX-Yドライブ メカニズム両方のsides. \ /htmlからのウエファーへの明確なunobstrucedアクセス」
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