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XY軸ポジショニングステージ XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUT回転リニア サーボ モーターウェハー運搬用
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特徴
- 方向
- XY軸, 回転
- タイプ
- リニア サーボ モーター
- その他の特徴
- ウェハー運搬用
- ストローク
10 mm
(0.394 in)- 速度
200 mm/s
詳細
リニアモータとダイレクトトルクモータを搭載したXYロータリステージは、半導体製造業におけるウェハハンドリングやその他多くの自動化された正確な位置決めアプリケーションのためにロープロファイルで設計されています。XY駆動リニアモータ駆動はサブミクロンのXY位置決めを提供し、ダイレクトドライブロータリステージはサブアークセック性能を保証します。
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