アイロンレスリニアモーター ILV59 Series

高速真空対応

精度を高める：ハイテク分野の真空ソリューションのナビゲート ハイテク・アプリケーションの進歩に伴い、化学反応や汚染を防ぐための真空ソリューションの必要性が高まっています。モーションコントロール、検査、切断、リソグラフィなどの真空アプリケーションは、移動という課題に直面しています。 ITGの真空アイアンレスリニアモータの可動子コイルとステータレールは、10-8 mbarという低真空でも使用できるように特別に設計されています。 特徴 - 耐久性 - 信頼性 - 汎用性 - ガス放出