光学式プロフィロメータ Alpha-Step® D-600

3Dスタイレットざらつき用

アルファーステップ D-600 スタイラスプロファイラーでは、段差や粗さの 2 次元および 3 次元の表面測定に加え、2 次元の反りや応力の測定も可能です。スタイラスプロファイラの革新的な光学式レバーセンサー技術により、高解像度測定、広い垂直範囲、低荷重測定が可能です。 スタイラス測定技術の利点は、材料特性に依存しない直接測定であることです。力の調整とスタイラスの選択により、さまざまな構造物や素材の正確な測定が可能です。このスタイラス測定オプションを使用すると、追加または削除された材料の量や、粗さと応力を測定することによる構造の変化を判断し、プロセスを定量化できます。 特徴 - ステップの高さナノメートルから 1200µm - 低荷重：0.03～15mg - 動画5MP高解像度カラーカメラ - キーストーン補正：サイドビュー光学系に起因する歪みを除去 - アーク補正：スタイラスの円弧運動による誤差を除去します。 - コンパクトなサイズ：システム設置面積が小さい - ソフトウェアユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェース アプリケーション - ステップハイト：2Dおよび3Dのステップハイト - テクスチャー：2Dおよび3Dの粗さ、うねり - 形状：2D弓形と形状 - 応力2D薄膜応力