3Dプロフィロメータ Tencor™ P-170

スタイレットざらつき用卓上

Tencor P-170は、P-17の業界をリードするベンチトップ・システム測定性能とHRP®-260の生産実績のあるハンドラーを搭載したカセットtoカセット・プロファイラです。この組み合わせは、半導体、化合物半導体、および関連業界向けのハンドラーベースのシステムとして、低コストの所有権ソリューションを提供します。Tencor P-170は、ステッチなしで最大200mmまでのスキャンで、段差、粗さ、反り、応力の2Dおよび3D測定に対応しています。 ウルトラライト®センサー、コンスタントフォースコントロール、ウルトラフラットスキャンステージの組み合わせにより、優れた測定安定性を実現しています。ポイント＆クリックのステージコントロール、トップビューとサイドビューの光学系、光学ズーム付き高解像度カメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。Tencor P-170は、2Dおよび3D測定に対応しており、表面形状を定量化するためのさまざまなフィルタリング、レベリング、データ解析アルゴリズムが利用できます。自動化されたウェーハハンドリング、パターン認識、シーケンス、特徴検出により、完全自動計測を実現します。 特徴 - ステップの高さナノメートルから1000μm - 定荷重制御による低荷重：0.03～50mg - ステッチなしでサンプルの全径をスキャン - ビデオ5MP高解像度カラーカメラ - アーク補正：スタイラスの円弧運動による誤差を除去します。 - ソフトウェア使いやすいソフトウェアインターフェース - 生産能力シーケンサー、パターン認識、SECS/GEMによる完全自動化。 - ウェハーハンドラー75mmから200mmの不透明（シリコンなど）および透明（サファイアなど）サンプルを自動的にロードします。 アプリケーション - ステップハイト：2Dおよび3Dのステップハイト - テクスチャー：2Dおよび3Dのラフネスとウェービネス