ボールねじリニアガイド

コンパクト精密高精度

- 堅牢でコンパクトな設計 - 最適化されたプロセス精度 - 統合されたケーブル管理 - カスタマイズされたサーボ技術 お客様の要求に合わせて特別に開発されたリニアシステムは、精度とプロセスの安定性を兼ね備えています。高精度ボールねじ駆動と高剛性循環ローラーガイドの組み合わせにより、光学検査装置の要求される走行精度を実現しました。統合されたケーブルマネジメントに加え、顧客のチューブと配管も導入された。これにより、必要な真空フィードスルーが確保されました。シンプルなプラグ＆プレイを実現するため、カスタマイズされたサーボ技術に合わせてすべてが組み立てられた。 可動質量、可能な限り短い移動範囲、サイクル定義などの通常の顧客要件に加えて、追加の特性を考慮する必要がありました。例えば、以下のようなものです： - メンテナンス間隔の長さ - 顧客固有のバーンイン試験 - 静電気放電能力（ESD） - 中央潤滑システムの準備 - 光学試験装置 - AOIハンドリング - 光学ウエハテストシステム - カメラ調整 - レーザー加工 - センサー位置決め