ウエハエッジ測定システム WATOM 200/300mm

光学レーザー自動

自動ウェーハエッジプロファイラ WATOM 200/300mm ピンポイント測定 半導体産業では、ますます微細なパターンが使用されるようになり、ますます高品質な先端材料が求められています。KoCoSオプティカル・メジャーメント社は、ウェーハの品質向上に対応するため、ウェーハエッジおよびノッチプロファイル測定ツールWATOMを開発し、極めて精密なウェーハ形状測定の新時代の到来を告げました。 特許取得済みのWATOM LSの測定方法は、光検出センサーを利用し、ノッチ内のプロファイルを含むウェーハエッジのプロファイルをピンポイントで測定します。CMOSカメラを使用して、エッジプロファイルによって生成されるレーザーラインの写真を撮影します。その後、KoCoSが開発した数学的アルゴリズムを使用して、エッジプロファイルの特性を決定します。 WATOMのモジュール設計は、個々のウェハーを手動でロードする場合でも、自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）を導入する場合でも、最新の半導体製造工程のさまざまな自動化ソリューションと組み合わせることができます。