ウエハエッジ測定システム WATOM T

光学コンパクトプロフィロメータ

枚葉式エッジプロファイラ WATOM T 小さな設置面積と安定した精度 WATOM Tは、自動化の必要のないアプリケーションに適したコンパクトで安価なプロファイラで、他のWATOMシステムと同じ品質、プロセス信頼性、測定精度を提供します。 WATOM Tは、迅速なサンプル測定のために2つのウェーハサイズに対応できるように設計されています。 タッチスクリーンを装備し、オペレーター、専門家、メンテナンススタッフにも使いやすいツールです。