ウエハエッジ測定システム WATOM 150/200mm

カメラ自動プロフィロメータ

自動ウェーハエッジプロファイラ WATOM 150/200mm ウェーハエッジ測定 - 信頼性の高い投影技術 WATOM CCDは、LS技術に代わるプロファイル投影技術を採用しており、特にノッチ測定が不要な場合など、それほど要求の高くないプロファイル測定に理想的なソリューションを提供します。CMOSカメラは、テレセントリック光源によって照らされたウェーハエッジのプロファイル画像をキャプチャします。 WATOMのモジュール設計は、個々のウェーハが手動でロードされる場合でも、自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）が設置されている場合でも、最新の半導体製造プロセスの様々な自動化ソリューションと組み合わせることができます。