光学式偏光計 LSM-9001NIR

自動デジタル

概要
半導体ウェハ、着色ガラス、着色アクリル樹脂製品など、位相差の小さい試料のひずみ（遅相差）の2次元分布を評価します。約50×50mmを約1分で評価可能です。

型名
Fully Automatic Strain Eye LSM-9001NIR

検査方法
NIR回転アナライザ方式

主な特長

• 全自動測定：試料を置いて測定を開始するだけで、内蔵カメラで取得した画像から主観を排した計算により結果を得られ、作業者負荷や測定ばらつきを低減します。
• 従来のポラリスコープで測定が困難な半導体ウェハや着色・透明製品のひずみ、残留応力、クラックを評価できます。
• 解析ソフトは充実：2D分布図の断面グラフ、任意領域のヒストグラム、2D分布の3D表示、測定結果のCSV保存、画像保存による解析トレースが可能です。
• 高輝度LED光源により長寿命・省電力化を実現し、保守・運用コストを低減します。

仕様

• 検査方法：NIR回転アナライザ方式
• 測定レンジ（約）：0～150 nm（遅相差）
• 測定領域サイズ（約）：50×50 mm
• 測定時間：約1分（50×50 mm）
• 試料設置スペース（高さ）：最大160 mm
• 外形寸法：W300 × D353 × H540 mm
• 質量：22 kg
• 光源：高輝度LED
• 電源：AC100–240V 50/60Hz；DC入力 24V 1.6A
• 構成品：本体、PC、ケーブル；付属品：本体カバー
• OS：Windows 10 Pro（64bit） 日本語/英語