熱式質量流量調節器 MV-392-HE

ガス用デジタルアナログ

表示器一体型ガス用マスフローレギュレーター 直接熱マスフロー測定 高精度 ヘリウムで校正済み 明るくグラフィカルなOLEDディスプレイ デジタルまたはアナログ出力、アラームおよびカウンター機能 高精度ニードルバルブ 特徴 明確な表示 - 実流量（バーグラフと数値） - 希望流量単位 - ガス種 - 積算流量 明るく広角なOLEDディスプレイ 視差エラーなし 温度や圧力の変化に影響されない 圧力変動 低圧力損失 広い流量範囲 高速応答 高精度 電子出力 - アナログ (0 ... 5 Vdc) - RS-232インターフェース (FLOWBUS) - Modbus-RTU/ASCII インターフェース 設定可能なパスワード保護 アラーム及びカウンター機能 リレー 高分解能ニードルバルブ デジタル校正 無料ソフトウェアツール 測定/制御システム 流量範囲 50 mln/min ... 2000 mln/min (sccm) 質量流量の単位 ln/min および SLM は、通常の運転条件、すなわち 0°C (32°F) および 1013 mbar (14.7 psi) を示します。