チャンバー炉

熱真空不活性ガス

工業用真空炉は、タングステンホットゾーンでは最高温度3000 °C、グラファイトホットゾーンでは最高温度2200 °Cの真空炉です。様々なサイズのホットゾーンおよびポンプシステムをご利用いただけます。 ベース真空炉には、10-2 Torr (mbar) までの真空レベルに対応する排気システムと、アルゴン雰囲気での運転に対応する不活性ガスシステムが標準装備されています。 オプションの荒引きポンプのブロワーにより、運転圧力は10-3 Torr (mbar) まで下がります。拡散ポンプシステム、ターボポンプシステム、極低温システムなどの高真空システムは、さらにチャンバー圧力を10-10 Torr (mbar)まで下げます。真空システムの選択は、必要な真空レベルやガス負荷などのプロセスパラメータに基づいています。炉のお見積もりをご依頼の際には、ご希望の真空レベルとポンプシステムのタイプをご指定ください。 真空チャンバーは二重壁、水冷式で、304Lグレードのステンレス鋼から製造され、電気研磨仕上げにより、クリーンで耐久性があり、優れた真空度を実現します。 真空炉は金属、合金、セラミック、グラファイト化合物の熱処理に使用されます。 一般仕様 利用可能なホットゾーンのサイズ：最大36″径×24″高さ（914 mm径×610 mm高さ） 拡散ポンプシステムで10-6Torr、ターボポンプシステムで10-7Torrの究極真空レベル 極低温システムで10-10Torr（mbar）までの超高真空レベルに対応する全金属製ホットゾーン トップローディング、フロントローディング、ボトムローディング構成 優れた温度均一性、通常+-10 °C ユーザーフレンドリーなHMI PC/PLC制御インターフェースを備えた自動化システム、リモート接続が可能