色コーディング共焦点センサー confocalDT IFS2407-xHT/VAC

厚み測定用距離測定用非接触式

概要
confocalDT IFS2407 シリーズは、過酷な環境での非接触距離・変位測定向けに設計された共焦点クロマティック高温センサです。HT/VAC 仕様は最大 200 °C での信頼性ある計測を可能にし、コンパクトな光学設計と低ガス放出により UHV 対応を実現しています。複数の測定範囲と 90° ビームパスのバリアントにより、狭小な設置スペースにも対応します。

主な特長

• 最高 200 °C までの環境での安定動作
• 低ガス放出：UHV およびクリーンルーム用途に適合
• 限られた設置スペース向けのコンパクトな共焦点クロマティック設計
• 複数の測定範囲と 90° ビームパスのバリアントを用意
• ステンレススチール製ハウジング（材質 1.4404）

代表モデルと主な仕様

• confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC
  • 測定範囲 (mm)：0.8
  • 直線性：最大 < ±0.18 µm
  • 分解能：最大 < 6 nm
  • 低ガス放出：UHV・クリーンルーム用途に適合
  • 200 °C までで信頼性のある測定が可能
  • ハウジング：ステンレス（1.4404）
• confocalDT IFS2407-2HT/VAC
  • 測定範囲 (mm)：2
  • 直線性：最大 < ±0.44 µm
  • 分解能：最大 < 10 nm
  • 低ガス放出：UHV・クリーンルーム用途に適合
  • 200 °C までで信頼性のある測定が可能
  • ハウジング：ステンレス（1.4404）
  • 90° ビームパスモデルあり
• confocalDT IFS2407-4HT/VAC
  • 測定範囲 (mm)：4
  • 直線性：最大 < ±0.8 µm
  • 分解能：最大 < 24 nm
  • 低ガス放出：UHV・クリーンルーム用途に適合
  • 200 °C までで信頼性のある測定が可能
  • ハウジング：ステンレス（1.4404）
  • 90° ビームパスモデルあり

用途

• 精密機械製造における非接触距離/変位測定
• 半導体産業の高温・真空環境での計測
• クリーンルームや UHV 環境を必要とするプロセス計測

技術仕様

• シリーズ / 製品群：confocalDT IFS2407
• 測定範囲：0.8 mm、2 mm、4 mm（モデルにより異なる）
• 直線性（モデル依存）：最大 < ±0.18 µm（0.8 mm） — < ±0.44 µm（2 mm） — < ±0.8 µm（4 mm）
• 分解能（モデル依存）：最大 < 6 nm（0.8 mm） — < 10 nm（2 mm） — < 24 nm（4 mm）
• 動作温度：最大 200 °C
• 真空特性：低ガス放出により UHV 対応
• ハウジング材質：ステンレススチール 1.4404
• バリアント：直進タイプおよび 90° ビームパスあり