色コーディング共焦点センサー confocalDT IFS2407

厚み測定用距離測定用非接触式

製品概要
共焦点クロマティックセンサ confocalDT IFS2407 は、距離・粗さ・厚さ測定のために設計された高精度センサです。高い開口数と小さな光スポット径を備え、測定角度が大きいため粗さ測定にも使用でき、ナノメートル単位の精度での測定が可能です。

高温センサ confocalDT IFS2407-xHT

• 周囲温度 200 °C までの信頼性の高い測定
• 測定範囲（mm）：0.8 | 2 | 4
• 温度範囲：最大 200 °C
• 直線性：最大 < ±0.18 µm
• 分解能：最大 < 6 nm
• ステンレススチール製ハウジング 1.4404
• UHV まで真空対応
• 90° 仕様

confocalDT IFS2407-0,1

• 測定範囲（mm）：0.1
• 直線性：最大 0.05 µm
• 分解能：最大 3 nm
• 距離測定や粗さ測定に理想的
• 高速プロセス向けに光度が強めの仕様もあり（NA 0.7）
• 3 µm の小さな測定点
• 高い感度と大きな傾斜角
• 透明な測定対象物での厚さ測定は 5 µm から可能

confocalDT IFS2407-0,8

• 測定範囲（mm）：0.8
• 直線性：最大 0.2 µm
• 分解能：最大 24 nm
• 小さな光点
• 省スペースのセンサ構造
• 曲面でも正確な距離測定が可能
• 薄い層の厚さ測定に最適

confocalDT IFS2407-1,5

• 測定範囲（mm）：1.5
• 非常に小さな測定スポット：5.5 µm
• 測定角度： > ±43°
• 光集約設計（NA > 0.7）
• 曲面や鏡面での高精度測定に対応
• 構造表面での安定した測定

confocalDT IFS2407-3

• 測定範囲（mm）：3
• 直線性：最大 0.5 µm
• 分解能：最大 13 nm
• 約 28 mm の長いオフセット距離
• 最大 ±30° の傾斜角
• 曲率の大きい表面や鏡面反射表面での測定に理想的

confocalDT IFS2407-6

• 測定範囲（mm）：6
• 直線性：1 µm
• 分解能：最大 15 nm
• 約 32 mm の長いオフセット距離
• 暗い表面や反射の弱い表面でも高い光強度を実現

confocalDT IFS2407/90-0,3

• 測定範囲（mm）：0.3
• 直線性：最大 0.15 µm
• 分解能：最大 6 nm
• 変位測定や表面粗さ測定に理想的
• 6 µm の小さな測定点
• 高い感度と大きな傾斜角

特徴 / 技術仕様

• 用途：距離測定、粗さ測定、薄膜厚さ測定
• 高い開口数（NA）のオプションにより高感度・高精度の測定が可能
• 小さな光スポット径（機種により 3 µm〜5.5 µm 程度）により微小領域の測定が可能
• 広い測定角（機種により ±30°〜±43°）に対応し傾斜表面での測定安定性を向上
• 複数の測定レンジバリエーション：0.1 mm、0.3 mm、0.8 mm、1.5 mm、3 mm、6 mm、xHT 用 0.8/2/4 mm など
• 直線性レンジ：最高 0.05 µm から 1 µm（機種により異なる）
• 分解能：最大 3 nm 〜 24 nm（機種により異なる）
• 長いオフセット距離（約 28 mm〜32 mm の機種あり）により取り付け自由度が高い
• ハウジング材質（高温機種）：ステンレススチール 1.4404（xHT 機種）
• 高温対応：周囲温度最大 200 °C（xHT 機種）
• 真空対応：UHV まで対応可能な機種あり
• 光学的に光集約された設計（NA > 0.7 の仕様あり）