色コーディング共焦点センサー confocalDT IFS2405

厚み測定用距離測定用非接触式

概要
confocalDT IFS2405 センサは、距離測定および片面厚さ測定を高精度で行うために設計されています。大きなオフセット距離と傾き許容を備え、透明材料の片側厚さ測定や距離測定に適しています。高感度で微小変位の検出が可能です。

主な特徴

• 透明材料の距離測定および片面厚さ測定
• 高感度・高分解能
• 傾き角に対する許容性
• 柔軟な取り付けを可能にする大きなオフセット距離
• 複数の測定レンジバリエーションを用意

測定レンジと性能

• 測定レンジmm0.3 | 1 | 3 | 6 | 10 | 28 | 30
• 直線性最大 0.1 µm標準バリアント
• 分解能最大 4 nm標準バリアント

バリエーションconfocalDT IFS2405/90-6

• 測定レンジmm6
• 直線性最大 1.5 µm
• 分解能最大 34 nm
• 狭小スペース向けの 90° 光学系
• 距離測定および片面厚さ測定に対応