直径測定システム NEXIV VMZ-NWL200

位置臨界次元次元

概要
VMZ-NWL200は、画像測定装置NEXIVとウェハローダNWL200を統合した自動ウェハ測定システムです。高度な画像処理により、キャリアに収納された6インチおよび8インチのウェハを自動で高速かつ高精度に測定し、半導体プロセス管理に適した測定データを提供します。

信頼性、効率性、操作性

• 高い信頼性：完全自動かつ再現性のある測定によりオペレータ差を低減。高性能光学によりエッジを正確に検出する鮮明な画像を生成します。
• 高い効率性：ワンクリックで検査を開始可能。従来の測定用顕微鏡に比べ測定生産性が大幅に向上し、所有コストを低減します。
• 高い操作性：GUI上にウェハグラフィックを表示し、マウスクリックでチップを選択可能。専用ソフトウェアがプロセス管理の作業を簡素化し、製造ラインへのフィードバックを迅速化します。

製品の特長

• NEXIV画像測定システムとNWL200自動ウェハローダを組み合わせた測定セル。
• キャリアに収納された6インチ／8インチウェハの自動かつ安全な検査。
• 半導体プロセス制御およびQuality 4.0のデータ要件に対応した高速・高精度測定。

コア機能

• キャリア収納の6"および8"ウェハの自動搬送および測定（搬送・位置決め機能含む）。
• 作成・実行・保存が可能なロバストな検査プログラムと完全なトレーサビリティ。
• 高品質な測定データを迅速に生産管理へ提供し、歩留まり向上に貢献。
• GUIによるチップ選択と測定設定でオペレータ作業を簡素化。

技術仕様

• 装置：画像測定装置 – NEXIV（VMZ-S3020 Type2 / Type3 / TypeTZ）；搬送装置 – NWL200
• 対応ウェハサイズ：6インチ、8インチ（SEMI/JEIDA規格）
• 対応カセット例：6" – PA182-60MB-06XX（Entegris）；8" – PA192-80M-06XX（Entegris）
• スループット（転送参考）：25枚搬送で6分45秒（測定時間除く）
• 最小L/S：500 本／mm
• 動作温度：19–26 °C
• 動作湿度：70 %RH以下
• 設置寸法（W x D）：4125 x 3040 mm
• 電源電圧：AC 100–120 V / 200–240 V
• 電源周波数：50 Hz / 60 Hz
• 消費電流：7.5 A / 3.7 A
• 真空：-80 kPa

注意

• *1 販売前にウェハ搬送評価が必要です。
• *2 表示の転送時間は25枚の搬送時間であり、測定時間は含みません。