概要低接着タイプとUV剥離タイプをラインナップし、ウェーハの裏面研削(バックグラインド)工程を支援します。ウェーハの裏面薄膜化時の保護・ハンドリング用サポートとして使用されます。
製品構成製品のラインナップおよび構造は、原ページにイラスト入りの表/図で示されています。利用可能なバリエーションと層構成が確認できます。
注意- 皮膚との接触を避けてください。接触により皮膚炎が生じる場合があります。
- 廃棄は認定された処理会社に依頼してください。焼却しないでください。焼却により有毒ガスや悪臭が発生し、吸引すると吐き気を引き起こすことがあります。
特長 / 技術仕様- 製品種別:ウェーハ用バックグラインドテープ
- 型式/シリーズ:ELEP HOLDER™
- 剥離方式:低接着剥離、UV剥離
- 用途:ウェーハのバックグラインド/裏面薄膜化工程の支援
- 主な機能:低接着ライナーおよびUV照射による剥離で、研削後の剥離を容易にする剥離制御
- 安全性:皮膚接触により刺激を生じる場合があるため取扱いに注意。廃棄は認定業者へ。焼却禁止。
- ブランド/製造元:Nitto