湾曲圧電アクチュエータ PL1 PICMA® series

10 V...50 V0 V...10 V51 V...100 V

最大2mmの変位 ms レンジの高速応答 ナノメートルの分解能 低動作電圧 150℃までの動作温度 10-9hPaまでのUHV対応 高信頼性のPICMA®多層膜ベンダー素子 双方向変位、バイモルフ設計。セラミック絶縁、ポリマーフリー。10-9hPaまでのUHV対応、アウトガスなし、高いベークアウト温度。過酷な条件下でも高い信頼性。 応用分野 産業および研究、真空医療技術、レーザー技術、センサー技術、オートメーションタスク、空気圧バルブ。