非回転チップ:振れ誤差の接点への伝達を回避
最高の精度:最小100nmステップのインクリメンタルステップ、一方向の繰り返し精度±0.25μm
方向検知式リファレンススイッチ:リファレンス移動に必要な時間の短縮、衝突を避けるためのアプリケーション依存のリファレンスの可能性
リファレンスクラスのリニアドライブ
高精度、高荷重、高ダイナミクスを兼ね備えています。10-9hPaまでの真空環境に対応したモデルをご用意。
移動範囲13 mm~77 mm(1/2インチ~3インチ)、力~125 N、DCまたはステッピングモーター
高品質コンポーネント
ボールねじによるスムーズな送り。均一な動作のための非回転チップは、接触点でのぐらつき、トルク、摩耗を防ぎます。デカップリングフォース用のフラットチップとスフェリカルチップを装備。非接触リミットスイッチがメカニックを保護。方向感知リファレンススイッチは、自動化アプリケーションをサポートします。コネクタに差動エンコーダドライバを搭載した位置制御タイプは、最大10mまでの距離で安全な信号伝送が可能です。
モータバリエーション
ギアヘッドと高分解能ロータリーエンコーダを備えた位置制御DCモータは、わずか100 nmのインクリメンタルモーションを可能にします。
ギア比を備えた高性能・低振動2相ステッピングモーターにより、位置制御なしでも高精度な位置決めが可能
応用分野
研究.オートメーション光学アライメント
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