Z軸ポジショニングステージ UPL-120 series

モーター式クロスローラー高精度

- 0.05μmまでの位置決め繰り返し精度 - 最大20 kgの高負荷容量 - 直接測定用リニアエンコーダオプション - サーボモーターとステッピングモーターのオプション 垂直DeepL移動プラットフォームUPL-120は、最大20 kgの荷重に対してサブミクロンの分解能で高精度なZ軸モーションを提供します。垂直マウントのリニアステージとは異なり、高剛性プラットフォームコンセプトにより、ベアリング性能や動作の真直性に影響を与えるモーメント荷重を回避しながら、ペイロードに360度アクセスできる薄型化を実現しています。 真直度・平面度に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計は、片持ち梁の荷重が支持するリニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニアポジショニングステージと比較して、優れた直線性と平坦性を実現し、ピッチとヨーの性能が優れています。 クローズドループサーボモータまたはステッピングモータによる高分解能リニアモーション 垂直ステージのプラットフォームは、精密クロスローラベアリングによってガイドされ、ステッピングモータまたはサーボモータを介して高分解能、低摩擦ボールネジで駆動されます。精密ベアリングはプラットフォームの安定性と剛性を高め、内蔵の光学式リミットスイッチはオーバートラベル状態からメカニックを保護します。直接測定可能なリニアエンコーダ（または低価格帯の製品ではロータリーエンコーダ）により、モーションコントローラによるクローズドループ動作のための高分解能位置フィードバックが得られます。UPL-120 垂直リニア DeepL トランスレーションの最高性能バリアントは、5 ナノメートル のエンコーダ分解能を備えています。オープンループ位置制御のために、低コストのステッピングモーターZステージのバリエーションもご用意しています。