- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Physik Instrumente
リニアポジショニングステージ M-11 series電動式精密コンパクト
お気に入りに追加する
商品比較に追加する
特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動式
- その他の特徴
- 精密, コンパクト, 閉ループ
- ストローク
5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)- 速度
1 mm/s, 1.5 mm/s, 2 mm/s
- 繰返し精度
0.15 µm, 0.25 µm, 2 µm
詳細
折りたたみ式で非常にコンパクト
ステッピングモーターおよびクローズドループDCモーター
非接触リファレンスおよびリミットスイッチ
XYセットアップを直接取り付け可能
大量生産が可能
真空に適したバリエーション
コンパクトなリニアステージ。
ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニアステージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。
駆動部
2相ステッピングモーターまたはクローズドループDCギアモーター
バックラッシュ補正付きねじスピンドルまたはボールねじ
位置測定
DCギアモーターのバリエーションモーターシャフト上のロータリーエンコーダ
非接触ホール効果リファレンスとリミットスイッチ
応用分野
精密マイクロアセンブリ研究レーザー転写自動化光学アライメント
---
