XY軸ポジショニングステージ V-741

電動式2軸精密

0.1μmの一方向繰返し精度 アイアンレス3相リニアモーター 速度200 mm/s 分解能1 nmのインクリメンタルリニアエンコーダ クロスローラガイド リニアモーター リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非線形性が回避され、どのような位置でも簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。 クロスローラガイド クロスローラガイドでは、ボールガイドのボールの点接触が、硬化ローラの線接触に置き換えられます。その結果、剛性が大幅に向上し、予圧が少なくて済むため、摩擦が減少し、スムーズな走行が可能になります。クロスローラガイドは、高い案内精度と負荷容量も特徴です。フォースガイド式転動体保持器は、保持器のクリープを防止します。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非線形性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 医療産業レーザー切断スキャニングバイオテクノロジー測定技術AOI（自動光学検査）レーザー転写