プラズマ表面処理装置 V80-G-Side

実験用自動

システム V80-G-Side は、産業加工および研究開発施設等での使用に適しています。 PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを保存することができます。 システム型式 - 19 インチキャビネット チャンバ寸法（W x D x H） - 400 x 500 x 430 mm プラズマ励起周波数 - マイクロ波（2.45 GHz） マイクロ波出力 - 100 ～ 1200 W マスフロー制御ガスインレット - 2 つ 電力供給 - 230/400 V、50/60 Hz 電力入力 - 2.2 kVA 重量（ポンプユニット無） - 350 kg システム寸法（W x D x H） - 850 x 900 x 1850 mm 側面部からのマイクロ波カップリング - はい。 オプション オプション 追加ガスインレット - 2 つ 追加励起周波数 （40 kHz、13.56 MHz） - はい。 ソフトスタート/スローベント - はい。 回転テーブル - はい。 回転ドラム - はい。 プルアウト式ドア - はい。 自動ドア - はい。 システムの特徴 システムの特徴 USB 接続 Ethernet インタフェース リモートメンテナンス（VPN） 上部からのマイクロ波カップリング スイング式ドア