スパッタリング式塗工機 Pi411 PLUS
高性能多層

スパッタリング式塗工機
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特徴

特性
スパッタリング式, 高性能, 多層

詳細

Pi411 ウルトラフレキシブルユニット Pi411 PLUSは、そのモジュール設計と利用可能な技術の範囲により、世界で最も柔軟性の高いコーティングユニットです。 設定 ECO: アーク蒸着用ドア内に3 x LARC® (LAteral Rotating Cathode)を備えた基本構成 PECVD(DLC2)。a-C:H:Siコーティング用 TURBO: ARC技術を用いたECO + CERC® (中央回転陰極)により生産性を向上させ、高度に複雑なコーティングを可能にします。 OXI(オキシ)です。コランダム構造の酸化皮膜用 SCIL® (SPUTTERED Coating Induced by Lateral Glow Discharge): 中央カソードからの高性能スパッタリング。 ハイブリッドLACS®。ドア内のLARC®と中央のSCIL®カソードを使用したARCとSPUTTERの同時プロセス エッチング技術を応用しています。 LGD® (Lateral Glow Discharge) アルゴンによるプラズマエッチング、グロー放電 金属イオンエッチング(Ti、Cr 荷重とサイクルタイム 最大塗布量:φ540×H500 [mm] 定義されたコーティング厚さでの最大コーティング高さ414 mm 最大荷重200 kg 最大5バッチ/日※用。 シャンク工具(2μm) : ・・・・φ10×70[mm]、・・・504本、・・・4.5h ホブ(4μm):●●φ80×180[mmm]、●28個、●7. * 生産環境における典型的なコーティングミックスの平均サイクルタイム。 モジュラーカルーセルシステム:1~14軸 ソフトウェアのこと。 シンプルな使用方法とメンテナンス プラチットのスマートソフトウェア(PC・PLCシステム タッチスクリーンを備えた近代的な制御システム プロセスパラメータとフローのデータ記録とリアルタイム表示 手動・自動プロセス制御 遠隔診断とメンテナンス 機械寸法 フットプリント幅2950×奥行1900×高さ2400 [mm]

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カタログ

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。