Pi411 ウルトラフレキシブルユニット
Pi411 PLUSは、そのモジュール設計と利用可能な技術の範囲により、世界で最も柔軟性の高いコーティングユニットです。
設定
ECO: アーク蒸着用ドア内に3 x LARC® (LAteral Rotating Cathode)を備えた基本構成
PECVD(DLC2)。a-C:H:Siコーティング用
TURBO: ARC技術を用いたECO + CERC® (中央回転陰極)により生産性を向上させ、高度に複雑なコーティングを可能にします。
OXI(オキシ)です。コランダム構造の酸化皮膜用
SCIL® (SPUTTERED Coating Induced by Lateral Glow Discharge): 中央カソードからの高性能スパッタリング。
ハイブリッドLACS®。ドア内のLARC®と中央のSCIL®カソードを使用したARCとSPUTTERの同時プロセス
エッチング技術を応用しています。
LGD® (Lateral Glow Discharge)
アルゴンによるプラズマエッチング、グロー放電
金属イオンエッチング(Ti、Cr
荷重とサイクルタイム
最大塗布量:φ540×H500 [mm]
定義されたコーティング厚さでの最大コーティング高さ414 mm
最大荷重200 kg
最大5バッチ/日※用。
シャンク工具(2μm) : ・・・・φ10×70[mm]、・・・504本、・・・4.5h
ホブ(4μm):●●φ80×180[mmm]、●28個、●7.
* 生産環境における典型的なコーティングミックスの平均サイクルタイム。
モジュラーカルーセルシステム:1~14軸
ソフトウェアのこと。
シンプルな使用方法とメンテナンス
プラチットのスマートソフトウェア(PC・PLCシステム
タッチスクリーンを備えた近代的な制御システム
プロセスパラメータとフローのデータ記録とリアルタイム表示
手動・自動プロセス制御
遠隔診断とメンテナンス
機械寸法
フットプリント幅2950×奥行1900×高さ2400 [mm]
---