自動試験機 MSA-600

光学式MEMSモジュール式

MEMSや微細構造物のための3D光学テストステーション 微細構造体やMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）デバイスの品質管理、試験、開発のために、表面トポグラフィーと動的運動解析を提供する総合光学ワークステーションです。可視化と3Dデータは、有限要素の検証、クロストークの決定、表面形状測定、形状パラメータの評価などに不可欠です。 MEMSや微細構造体の動的応答と3Dトポグラフィの測定 MSA-600-M/Vバージョンは、25 MHzまでの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロフォンなどのマイクロシステムのテストに最適です。MSA-600-X/Uは2.5GHzまでの周波数帯をカバーし、高周波のMEMS共振器やSAW、BAWなどのマイクロアコースティックデバイスの研究に適しています。 ハイライト - 微細構造用オールインワン光学測定ステーション - リアルタイム応答測定（後処理不要） - 比類なきサブpmの変位分解能 - たわみパターンの高速測定と可視化 - シンプルで直感的な操作性 - 測定ステーションに簡単に組み込める自動化システム - FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション デモ、フィージビリティスタディ、MEMSサンプルの送付、リモート・オンサイトサポート、測定ステーションや生産ラインへの組み込みなど、お気軽にご相談ください。ぜひお問い合わせください