ウェハー用顕微鏡 SAM 300 AUTO WAFER

検査用自動走査型音響

SAM 300 AUTO WAFERは、接合ウェーハのライン生産管理向けに開発された製品ラインです。 クリーンルームクラス10に対応しています。 主な用途は、ウエハの接合界面における空隙、介在物および剥離領域の検出である。