ウェハー用顕微鏡

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検査用顕微鏡
検査用顕微鏡
DM8000 M

... 最新の光学技術で、生産性改善に貢献。 新しいアイデアにより装備されたUV斜め観察法及びマクロ観察法は、より高い解像力を実現しているだけでなく試料の観察及び検査のスピードアップを可能にします。全ての観察法に対応する本体に内蔵されたLED照明は、顕微鏡回りに理想的なエアーフローを可能にするだけでなく、省スペース・省電力などエコに大いに貢献します。 マクロモードで快適・正確な外観検査 ライカ DM8000 M  光学検査用顕微鏡はマクロモードを組み込み、標準的な 対物レンズの最大 4 ...

検査用顕微鏡
検査用顕微鏡
DM12000 M

... 最新の光学技術で、生産性の改善に貢献 新しいアイデアにより装備されたUV斜め観察法及びマクロ観察法は、より高い解像力を実現しているだけでなく試料の観察及び検査のスピードアップを可能にします。全ての観察法に対応する本体に内蔵されたLED照明は、顕微鏡回りに理想的なエアーフローを可能にするだけでなく、省スペース・省電力などエコに大いに貢献します。 マクロモードで快適・正確良好な外観検査 DM12000 M 光学検査用顕微鏡にはマクロモードを組み込み、標準的なスキャニング対物レンズの最大 ...

光学顕微鏡
光学顕微鏡
MX63 series

分解能: 1 µm

MX63/MX63Lは最大300mmサイズのウエハーや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供することができます。さらにOLYMPUS Stream画像解析ソフトウェアと組み合わせることで観察からレポート作成までのシームレスなワークフローを提供します。

走査型透過電子顕微鏡
走査型透過電子顕微鏡
SU9000 II

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.4, 1.2 nm

... 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 ...

光学顕微鏡
光学顕微鏡
Eclipse LV100ND

重量: 9.5 kg
長さ: 657 mm
: 251 mm

... 多彩な反射・透過照明観察に対応した正立顕微鏡シリーズ。電子部品や材料の検査をはじめ、幅広い分野でお使いいただける工業用顕微鏡です。 汎用性の高い反射/透過照明併用正立顕微鏡 ニコンCFI60-2の優れた光学系により、目視観察とデジタルイメージングのどちらにおいても優れた画像を提供。 さまざまな産業分野向けの工業顕微鏡の用途に合わせ、観察方法/目的に応じたスタンド部や照明部の選択を可能にし、多彩な観察方法に対応します。 ECLIPSE LV100NDA / LV100ND 電子部品、素材‧材料、光学部品などさまざまな用途でお使いいただける、反射‧透過照明を備えた工業顕微鏡です。 CFI60-2対物レンズ ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、位相差観察を高い操作性で行えます。 顕微鏡デジタルカメラ ...

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Nikon Metrology
ウェハー用顕微鏡
ウェハー用顕微鏡
SAM 300 AUTO WAFER

... SAM 300 AUTO WAFERは、接合ウェーハのライン生産管理向けに開発された製品ラインです。 クリーンルームクラス10に対応しています。 主な用途は、ウエハの接合界面における空隙、介在物および剥離領域の検出である。 ...

ウェハー用顕微鏡
ウェハー用顕微鏡
MPS150

分解能: 5 µm

... フレキシブルなモジュールをベースにした150mmプローブステーションのカスタマイズが、驚きの価格で実現します。 フォームファクターは、クラス最高の150mmプローバーステーションに新しいモジュールコンセプトを導入しました。これにより、現在および将来のニーズに合わせた個別のプローブソリューションを驚くような価格でより簡単に構成することができるようになります。ベースステーションを選び、アプリケーションに応じたスターターキットを必要な数だけ追加するだけです。 同軸 - DC パラメトリック試験(pA ...

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FORMFACTOR
デジタル顕微鏡
デジタル顕微鏡
VHX-X1

倍率 : 2,500 unit - 6,000 unit
重量: 10.8 kg

... 大体のものはピントを合わせるだけで綺麗に観えます。 でも 『あともう少し詳しく観たい』 『SEMに移らずに解析を終えたい』 などのようなご要望にお応えするため 「HDR」「超解像」「マルチライティング」 「OPT-SEM*」「サーチライティング」「ディープコントラスト」 と、観察力を向上する様々な機能を搭載してきました そしてこの度VHX-X1シリーズに 「アドバンスド・サーフェスビュー」 を新たに搭載致しました 「ささっと素早く」も「あと一歩深く」も 両方叶えるデジタルマイクロスコープです。 ...

原子間力顕微鏡
原子間力顕微鏡

分解能: 0.02 µm

... 製品概要
原子間力顕微鏡(ウェハレベルAFM)は、高解像度の走査型プローブ装置で、導体・半導体・絶縁体のウェハスケールにおける三次元表面形状および多機能特性を自動プローブアプローチと高精度な位置決めで評価するために設計されています。

特長

  • 高度な多機能試験:ヤング率、付着力、磁区イメージング、表面電位、仕事関数などの物理量の測定が可能です。
  • 適応可能な環境:培養皿や加熱ステージなどのアクセサリに対応;空気および液相での測定、浸漬や高温環境での動作に対応します。
  • インテリジェントなプローブアプローチ:圧電走査チューブによるワンキー自動プローブ挿入。
  • サンプルサイズの適応性:12インチウェハの取り扱いに対応し、8、6、4インチウェハおよび破片サンプルと互換性があります。

技術指標
  • ノイズレベル
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