ウェハー用顕微鏡 MPS150

光学表面検査用双眼

フレキシブルなモジュールをベースにした150mmプローブステーションのカスタマイズが、驚きの価格で実現します。 フォームファクターは、クラス最高の150mmプローバーステーションに新しいモジュールコンセプトを導入しました。これにより、現在および将来のニーズに合わせた個別のプローブソリューションを驚くような価格でより簡単に構成することができるようになります。ベースステーションを選び、アプリケーションに応じたスターターキットを必要な数だけ追加するだけです。 同軸 - DC パラメトリック試験（pA レベルまで - 可動プラテン（40mm高さ調整、200μm接触/分離ストローク、±1μm繰り返し精度 - チャックステージ：フリクション調整、ステージロック、Zチャック調整、90mm引出し - 磁気式ポジショナー（分解能1μm）、精密ボールベアリング付き3軸リニア軸 Triax - fA レベルまでの低ノイズ測定が可能 - 実体顕微鏡。15x-100x の倍率、大視野、カメラ対応 C マウント - 4本のトライアックスプローブアームと高品質のトライアックスケーブル - 光/EMIシールド（オプション） - fFレベル測定のためのアップグレードオプション - TRIAX チャック（±8 微シータチャック回転、3 つの補助エリア、チャック表面は ±5 μm の平面度で、安定した接触力とオーバートラベルを実現 - 1回のセットアップで東西から南北の測定が可能 最大67 GHzまでのRFテスト - 3種類のプローブ技術を用意Infinityプローブ、ACPプローブ、｜Z｜プローブ - マッチングケーブルと基板を同梱 - RFチャック ±3 μmの表面平坦度 - 200μmのプラテンコンタクト/セパレーションストローク、±1μmの精度で再現性のあるコンタクトを実現。 - WinCal XE 校正ソフトウェア