ウェハー用測定システム EPS200RF

キャリブレーション用顕微鏡

prisna-wp-translate-show-hide behavior="hide[/prisna-wp-translate-show-hide]A complete RF measurement package [/prisna-wp-translate-show-hide]All rights reserved. アプリケーションに特化したEPS200RFは、67 GHzまでのクラス最高のRF測定に対応する完全なソリューションです。PM8システム・プラットフォームをベースとするEPS200RFパッケージには、25 µm x 35 µmのパッドでRFデバイスを確実にプローブするために必要なハードウェア、ソフトウェア、アクセサリがすべて含まれています。 EPS200RFは、正確な測定結果を最短時間で達成し、最大限の信頼性を得るために必要なすべてを備えた、専用のアドバンスド・プロービング・ソリューションです。このシステムには、最大67 GHzまでのRFプロービングのための最もよく知られた方法が組み込まれており、25 μm x 35 μmとそれ以上の小さなパッドをプローブすることができます。キャストフレームと4点支持のシングルプラテンによるEPS200RFの非常に剛性が高く安定したシステム設計により、高精度を達成することができます。統合された防振ソリューションにより、測定時間の経過とともにコンタクトの品質を保護します。最適化された光学系、バックラッシュのないRFポジショナのX-Y-Z動作、優れた1μmの再現性を持つコンタクト分離駆動により、精密なプローブ配置と半自動システムに匹敵するコンタクト再現性を実現しています。業界標準のケーブルは、最高のマグニチュードと位相安定性を持つ測定をサポートします。Infinity Probe®、 |Z| Probe®、ACP、FPCプローブファミリーから40、50、67 GHz RFプローブのペアを選択し、最高のコンタクト性能を得ることができます。WinCal XE™ソフトウェアでは、特許取得済みのLRRMおよびLRM+方式により、最高の校正精度を実現します。