温度測定システム CM300xi

ウェハー用キャリブレーション用顕微鏡

ラボの高度な自動化でクラス最高の測定性能を実現*。 CM300xiプローバは、小型パッドでの長時間無人測定や多温度環境での測定など、非常に複雑な環境がもたらす測定上の課題に対応するプローブステーションです。EMIシールド、遮光、防湿のテスト環境において、幅広いアプリケーションでクラス最高の測定性能を実現します。熱管理機能の強化やラボの自動化により、歩留まりの向上とデータ取得までの時間の短縮を実現します。 CM300xiは、自律的な半導体テストを可能にする独自の技術であるContact Intelligence™をサポートしています。革新的なシステム設計と最先端の画像処理の強力な組み合わせにより、時間や温度を問わず信頼性の高い測定データを実現する、オペレータに依存しないソリューションを提供します。 CM300xiプローバは、マテリアルハンドリングユニットとの組み合わせにより、最高の精度と柔軟性を備えた完全自動のウェーハテストを実現します。SEMI規格のウェーハカセットに収納された200mmまたは300mmウェーハを最大50枚まで取り扱うことができます。