ウェハー用測定システム EPS200MMW

顕微鏡

67GHz以降のmmW、THz、ロードプル測定に対応した完全なソリューションです。 テラヘルツ帯のアクティブおよびパッシブコンポーネントの測定ニーズに対応したソリューションです。電気的精度や機械的安定性を犠牲にすることなく、最高のダイナミックレンジと指向性を実現します。 EPS200MMWは、テラヘルツ帯までのプロービングのための最もよく知られた方法と設計コンセプトを取り入れ、正確な測定結果を効率的に得るために必要なすべてを備えた専用プロービングソリューションです。強固な鋳造フレームと4点支持のプラテンにより、EPS200MMMWは優れた安定性を実現し、高精度を容易に達成することが可能です。研磨された花崗岩のベースは、熱や機械的な影響を排除し、優れた平坦性とシステムの安定性を確保します。内蔵の防振ソリューションとオプションの防振テーブルにより、測定中も高品質のコンタクトを維持します。独自のSIGMA™ オプションは、主要な測定機器メーカーのmmWヘッドとロードプルチューナーをシームレスに統合し、電気精度と機械的安定性を損なわずに最高のダイナミックレンジと指向性を実現します。SlimVue™ 顕微鏡は、小型パッドプロービングに必要な高倍率光学系の機械的干渉を軽減します。