3D測定システム PM300

ウェハー用半導体用顕微鏡

PM300 アナリティカル・プローブ・ステーションは、半導体のマニュアル故障解析およびインプロセステストにおける業界のベンチマークです。この汎用性の高いプローブシステムの優れたメカニクスは、お客様のアプリケーションに関わらず、安定した高精度のシステムセットアップを実現します。 PM300はオープンシステムまたはシールドシステムPM300PSとして利用できます。 PM300PSは、デバイスの特性評価とモデリング、プロセス開発、ウェハレベルの信頼性、故障解析、3D ICエンジニアリングテストにおいて、電磁波（EMI）や高周波干渉（RFI）のない測定環境を実現するマニュアル分析用プローブシステムです。