昇華炉 baSiC-T

結晶成長ベルガス

PVA TePla 物理蒸気輸送（pvt）システムbaSiC-Tは、特に高温で元粉末を昇華させることにより、炭化ケイ素（SiC）結晶成長のために設計されています。 baSiC-Tシステム設計は、モジュラーコンセプトに基づいており、直径 6インチまでの基板（種子）の使用を可能にします。 電力電子アプリケーション向けに設計された新世代 SiC pvT 結晶成長炉、 大量生産 Fab 管理ソフトウェアソリューション利用可能な 小さなフットプリント、コンパクト な配置 フィールド実証済みコイルを使用した4インチと6「誘導加熱 - 低消費電力（約 10KW @ 2,200° C 安定制御） ホットゾーン向けのモバイルロード/アンロードコンセプト 高度 なトレンドを備えた自動化プロセスの可視化の高レベルで直感的な操作を備えた優れたコントロールシステム パラメータの 長期プロセスデータロギング、長期データ検索 制御システムと、ビジュライゼーションのセットによってレシピオプションの多くは独立して動作します（安全 コンセプト）システム制御ループ優れた安全コンセプト CE 適合 異なるレベルのシステムによって設定可能 安全部品は安全な操作 品質測定と品質向上の文書を保証 し、顧客、機関、部品サプライヤーとの緊密な協力を得る