プロセスオートメーション システム RTA-SRT-8000

プロセス : 125/156サイズのウェーハに対応 チューブ型PECVD装置、プレート型PECVD装置の各サイズに対応 特徴 オンライン・デュアルチャネル・デザインを全ABで共有 AOIとIVテストのオンライン統合 着信セルの自動検出・投射機能 リニアモーターのクイックピック＆プレース機能 スタンドアローン4ステーションプラットフォーム 高速・高生産性 高速・高生産性 ●高効率・低破損率 セル自動分類機能 ウエハーIDトラッキング機能 スタック自動切替 MESインターフェースとリモート診断 OEE統計とエネルギー消費分析 ローディング：オンライン、オフライン アンロードスタックボックス オプションのシングル/デュアルトラックデザイン、ホール/スプリットレイアウト オプション AOI前面・背面検出 IV前面/背面検出、オプションブランドHALM/WAVELAB セル分類番号表示・印刷機能 RFIDタグ識別機能 IGVインテリジェントドッキング機能 メリット 高精度 (SMega Pixel Smart Camera Positioning Accuracy and Repeatability less than 1 Oum@3 cr High Resolution Linear Motor) 高効率と低故障率（Uptime≥98.5% Breakage≤0.1 %) 高生産性（生産量：8000個/時間 サイクルタイム：0.9秒 High Output （アウトプット。140,000個/日 8000個/時間x98%x22=176000個/日 インテリジェント・シャトル・ロボット・アーム （多軸シャトル・アーム設計、独立制御 アブソリュート・エンコーダ設計 クイック・スタック・スイッチ